1、壓縮機

目前冷凍干燥機大多采用中高溫型全密封往復式壓縮機。其結構緊湊、體積小、重量輕、振動小、噪聲低、能效比高。由于全密封壓縮機的電動機與壓縮機主體密封在一鋼制殼體內，電動機處在冷媒氣態環境中運行，冷卻條件較好，壽命較長。殼體下部存有規定數量的潤滑油，在壓縮機 作業時，對各部自動供油，平時不需再添加潤滑油。

在大型冷凍干燥機中，也選用半密封往復機或螺桿壓縮機，它們的特點是制冷功率大，可進行負荷調節以適應不同需要。

2、旋風分離器(氣水分離器)

旋風分離器也是一種慣性分離器，較多地用于氣固分離。壓縮空氣沿筒壁切線方向進入分離器后，在里面產生旋轉，混在氣體中的水滴也跟著一起旋轉并產生離心力，質量大的水滴所產生的離心力大，在離心力作用下大水滴向外壁移動，碰到外壁(也是擋板)后再集聚長大并與氣體分離。

3、熱氣旁路閥

冷凍干燥機壓縮空氣在蒸發器中冷卻時，有大量凝結水析出。如果冷媒蒸發溫度過低，使蒸發器銅管表面溫度在負荷條件下低于水的冰點，則凝結水就會在蒸發器里結冰，嚴重時阻塞氣流通道，使供氣管道癱瘓。

為了防止這種情況的出現，必須對冷媒蒸發溫度加以控制。其簡單有效的措施就是在冷凝器和蒸發器之間加設一只熱氣旁路閥，熱氣旁路閥的測壓管與蒸發壓力直接連接。當蒸發壓力低于一定程度時，熱氣旁路閥自動開啟，冷凝器中的高溫冷媒蒸氣直接進入蒸發器，提升蒸發溫度，避免冰堵現象。

4、熱力膨脹閥或毛細管(節流閥)

膨脹閥(毛細管)是制冷系統的節流機構。在冷凍干燥機中，蒸發器制冷劑的供給及其調節者是通過節流機構來實現的。

節流機構使制冷從高溫高壓液體進入蒸發器。當負荷變化時，熱力膨脹閥通過檢測壓縮機吸氣過熱溫度來調節閥芯開啟度，從而控制進入蒸發器冷媒供給量。毛細管則具有自補償特點，即當蒸發壓力降低時，兩端壓差會相應升高，從而加大流入蒸發器的冷媒量。毛細管由于結構簡單，工作穩定，在小型冷凍干燥機獲得普遍應用。

5、干燥過濾器

運行中的制冷裝置，由于制冷劑和冷凍油存在水分、固體粉未、污垢等雜質，情況嚴重時會使節流結構的節流孔產生臟堵。因此在冷媒供液管前必須裝設干燥過濾器。另外，制冷劑中微量水分對制冷系統的危害大。對冷媒，冷凍油及蒸發器、冷凝器和配管的干燥處理是極為重要的